Toward decoupling the effects of kinetic and potential ion energies: Ion flux dependent structural properties of thin (V,Al)N films deposited by pulsed filtered cathodic arc Editor’s Pick

Unutulmazsoy, Yeliz (Corresponding author); Kalanov, Dmitry; Oh, Kyunghwan; Karimi Aghda, Soheil; Gerlach, Jürgen W.; Braun, Nils; Munnik, Frans; Lotnyk, Andriy; Schneider, Jochen M.; Anders, André

New York, NY : American Institute of Physics (2023)
Buchbeitrag, Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of vacuum science & technology : JVST / A
Band: 41
Heft: 6
Seite(n)/Artikel-Nr.: 063106

Einrichtungen

  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]

Identifikationsnummern

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