Deposition of metastable Ti~(~1~~-x~)Al~xN films by plasma-enhanced CVD

Prange, R.; Neuschütz, D.

Les Ulis : EDP Sciences (1999)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Journal de physique / 4, Proceedings
Band: 9
Heft: 8
Seite(n)/Artikel-Nr.: 811-818

Einrichtungen

  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]

Identifikationsnummern