Modelling of dcMS and HiPIMS process with hydrocarbon gas admixture

Fekete, Matej (Corresponding author); Kroker, Michael; Souček, Pavel; Klein, Peter; VaÅ¡ina, Petr

Bristol : IOP Publ. (2022)
Fachzeitschriftenartikel

In: Plasma sources science and technology
Band: 31
Heft: 6
Seite(n)/Artikel-Nr.: 065008

Einrichtungen

• Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
• Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]