Ab initio-guided X-ray photoelectron spectroscopy quantification of Ti vacancies in Ti$_{1− δ}$O$_{x}$N$_{1−x}$ thin films

Ondračka, Pavel (Corresponding author); Hans, Marcus; Holzapfel, Damian Mauritius; Primetzhofer, Daniel; Holec, David; Schneider, Jochen M.

Amsterdam [u.a.] : Elsevier Science (2022)
Fachzeitschriftenartikel

In: Acta materialia
Band: 230
Seite(n)/Artikel-Nr.: 117778

Einrichtungen

• Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
• Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]