Metal-ion subplantation : A game changer for controlling nanostructure and phase formation during film growth by physical vapor deposition

Greczynski, Grzegorz (Corresponding author); Mráz, Stanislav; Schneider, Jochen M.; Hultman, L.

Melville, NY : American Inst. of Physics (2020)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of applied physics
Band: 127
Heft: 18
Seite(n)/Artikel-Nr.: 180901

Einrichtungen

  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]

Identifikationsnummern

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