On the chemical composition of TiAlN thin films : Comparison of ion beam analysis and laser-assisted atom probe tomography with varying laser pulse energy

Hans, Marcus (Corresponding author); Schneider, Jochen M.

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2019)
Buchbeitrag, Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 688
Seite(n)/Artikel-Nr.: 137251

Einrichtungen

  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]

Identifikationsnummern

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