Spatially resolved characterization of a dc magnetron plasma using optical emission spectroscopy

Ries, Stefan (Corresponding author); Bibinov, Nikita; Rudolph, Marcel; Schulze, Julian; Mráz, Stanislav; Schneider, Jochen M.; Awakowicz, Peter

Bristol : IOP Publ. (2018)
Buchbeitrag, Fachzeitschriftenartikel

In: Plasma sources science and technology
Band: 27
Heft: 9
Seite(n)/Artikel-Nr.: 094001

Einrichtungen

  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]

Identifikationsnummern