Combined experimental and theoretical description of direct current magnetron sputtering of Al by Ar and Ar/N 2 plasma

Trieschmann, Jan (Corresponding author); Ries, Stefan; Bibinov, Nikita; Awakowicz, Peter; Mráz, Stanislav; Schneider, Jochen M.; Mussenbrock, Thomas

Bristol : IOP Publ. (2018)
Buchbeitrag, Fachzeitschriftenartikel

In: Plasma sources science and technology
Band: 27
Heft: 5
Seite(n)/Artikel-Nr.: 054003

Einrichtungen

  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]

Identifikationsnummern