Selectable phase formation in VAlN thin films by controlling Al+ subplantation depth

Greczynski, Grzegorz (Corresponding author); Mráz, Stanislav; Hultman, L.; Schneider, Jochen M.

London] : Macmillan Publishers Limited, part of Springer Nature (2017)
Fachzeitschriftenartikel

In: Scientific reports
Band: 7
Seite(n)/Artikel-Nr.: 17544

Einrichtungen

  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]

Identifikationsnummern

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