Epitaxial and textured TiN thin films grown on MgO(1 0 0) by reactive HiPIMS: the impact of charging on epitaxial to textured growth crossover

Shayestehaminzadeh, Seyedmohammad (Corresponding author); Thorsteinsson, Einar B.; Primetzhofer, Daniel; Magnus, Fridrik; Olafsson, Sveinn

Bristol : IOP Publ. (2016)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of physics / D
Band: 49
Heft: 45
Seite(n)/Artikel-Nr.: 455301

Einrichtungen

  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]

Identifikationsnummern