Angle-resolved evolution of the composition of Cr-Al-C thin films deposited by sputtering of a compound target

Mráz, Stanislav (Corresponding author); Emmerlich, Jens; Weyand, Felix; Schneider, Jochen M.

Bristol : IOP Publ. [u.a.] (2013)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of physics / D, Applied physics
Band: 46
Heft: 13
Seite(n)/Artikel-Nr.: 135501

Einrichtungen

  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]

Identifikationsnummern