Structure of sputtered nanocomposite CrCx/a-C:H thin films

Gassner, Gert; Patscheider, J.; Mayrhofer, Paul H.; Hegedus, E.; Toth, L.; Kovacs, I.; Pecz, B.; Srot, V.; Scheu, Christina; Mitterer, Christian

New York, NY : American Institute of Physics (2006)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of vacuum science & technology : JVST / B
Band: 24
Heft: 4
Seite(n)/Artikel-Nr.: 1837-1843

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]

Identifikationsnummern