Composition-constitution-morphology relationship of Al2O3 thin films deposited by plasma assisted chemical vapor deposition

Snyders, Rony; Jiang, Kaiyun; Music, Denis; Konstantinidis, Stephanos; Markus, Torsten; Reinholdt, Alexander; Mayer, Joachim; Schneider, Jochen

Lausanne : Elsevier Sequoia (2009)
Fachzeitschriftenartikel

In: Surface & coatings technology
Band: 204
Heft: 1/2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 215-221

Einrichtungen

  • Gemeinschaftslabor für Elektronenmikroskopie [025000]
  • Lehrstuhl für Mikrostrukturanalytik [025010]
  • Fachgruppe Physik [130000]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]

Identifikationsnummern