Deposition and characterization of metastable Cu3N layers for applications in optical data storage

Cremer, Rainer; Witthaut, Mirjam; Neuschütz, Dieter; Trappe, Cyril; Laurenzis, Martin; Winkler, Olaf; Kurz, Heinrich

Wien [u.a.] : Springer (2000)
Fachzeitschriftenartikel

In: Microchimica acta
Band: 133
Heft: 1/4
Seite(n)/Artikel-Nr.: 299-302

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Halbleitertechnik und Institut für Halbleitertechnik [616210]
  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]

Identifikationsnummern