Correlation between plasma conditions and properties of (Ti,Al)N coatings deposited by PECVD

Kyrylov, Oleksandr; Cremer, Rainer; Neuschütz, Dieter; Prange, R.

Lausanne : Elsevier Sequoia (2002)
Fachzeitschriftenartikel

In: Surface & coatings technology
Band: 151/152
Seite(n)/Artikel-Nr.: 359-364

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]

Identifikationsnummern