Influence of the composition of BCN films deposited by reactive magnetron sputtering on their properties

Martínez, C.; Kyrsta, S.; Cremer, Rainer; Neuschütz, Dieter

Berlin [u.a.] : Springer (2002)
Fachzeitschriftenartikel

In: Analytical and bioanalytical chemistry
Band: 374
Heft: 4
Seite(n)/Artikel-Nr.: 709-711

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]

Identifikationsnummern