Effect of ion energy on structure and composition of cathodic arc deposited alumina thin films

Rosén, Johanna; Mráz, Stanislav; Kreissig, Ulrich; Music, Denis; Schneider, Jochen M.

New York, NY : Plenum Publ. Corp. (2005)
Fachzeitschriftenartikel

In: Plasma chemistry and plasma processing
Band: 25
Heft: 4
Seite(n)/Artikel-Nr.: 303-317

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]

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