Energy distribution of O- ions during reactive magnetron sputtering

Mráz, Stanislav; Schneider, Jochen M.

Melville, N.Y : American Institute of Physics (2006)
Fachzeitschriftenartikel

In: Applied physics letters
Band: 89
Heft: 5
Seite(n)/Artikel-Nr.: 051502

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]

Identifikationsnummern