Structure, composition, mechanical, and tribological properties of BCN films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition

Kurapov, D.; Schneider, Jochen M.

New York, NY : Plenum Publ. Corp. (2005)
Fachzeitschriftenartikel

In: Plasma chemistry and plasma processing
Band: 25
Heft: 6
Seite(n)/Artikel-Nr.: 613-623

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]

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