Ion-assisted physical vapor deposition for enhanced film properties on nonflat surfaces

Alami, Jones; Persson, P. O.; Music, Denis; Gudmundsson, J. T.; Bohlmark, J.; Helmersson, Ulf

New York, NY : American Institute of Physics (2005)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of vacuum science & technology / A, Vacuum, surfaces, & films
Band: 23
Heft: 2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 278-280

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]

Identifikationsnummern