Bipolar pulsed PECVD of alumina hard coatings

Kyrylov, Oleksandr; Cremer, Rainer; Neuschütz, Dieter

Shenyang (2002)
Fachzeitschriftenartikel

In: Acta metallurgica Sinica / English letters
Band: 15
Heft: 1
Seite(n)/Artikel-Nr.: 5 S.

Einrichtungen

  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]

Identifikationsnummern