Comparative characterization of alumina coatings deposited by RF, DC, and pulsed reactive magnetron sputtering

Cremer, R.; Witthaut, M.; Neuschütz, D.; Erkens, G.; Leyendecker, T.; Feldhege, M.

Lausanne : Elsevier Sequoia (1999)
Fachzeitschriftenartikel

In: Surface & coatings technology
Band: 120/121
Seite(n)/Artikel-Nr.: 213-213

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]

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