PECVD of hard and elastic BCN coatings

Cremer, Rainer; Kurapov, Denis; Martínez, Carlos; Kyrylov, Oleksandr; Neuschütz, Dieter

Shenyang (2002)
Fachzeitschriftenartikel

In: Acta metallurgica Sinica / English letters
Band: 15
Heft: 1
Seite(n)/Artikel-Nr.: 15-20

Einrichtungen

  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]

Identifikationsnummern