Surface and interface analysis of PVD Al-O-N and gamma-Al2O3 diffusion barriers

Cremer, R.; Witthaut, M.; Reichert, K.; Neuschütz, D.

Berlin ; Heidelberg [u.a.] : Springer (1999)
Fachzeitschriftenartikel

In: Fresenius journal of analytical chemistry
Band: 365
Seite(n)/Artikel-Nr.: 158-158

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]

Identifikationsnummern