Thermal stability of Al-O-N PVD diffusion barriers

Cremer, R.; Witthaut, M.; Reichert, K.; Schierling, M.; Neuschütz, D.

Lausanne : Elsevier Sequoia (1998)
Fachzeitschriftenartikel

In: Surface & coatings technology
Band: 108/109
Seite(n)/Artikel-Nr.: 48-48

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]

Identifikationsnummern