Characterization of Ge-Sb-Te thin films deposited using a composition-spread approach

Kyrsta, Stepan; Cremer, Rainer; Neuschütz, Dieter; Laurenzis, Martin; Haring Bolívar, Peter; Kurz, Heinrich

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2001)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 398/399
Heft: 1
Seite(n)/Artikel-Nr.: 379-384

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Halbleitertechnik und Institut für Halbleitertechnik [616210]
  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]

Identifikationsnummern