Low temperature synthesis of α-Al2O3 films by high-power plasma-assisted chemical vapour deposition

Jiang, Kaiyun; Sarakinos, Kostas; Konstantinidis, Stephanos; Schneider, Jochen M.

Bristol : IOP Publ. (2010)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of physics / D, Applied physics
Band: 43
Heft: 32
Seite(n)/Artikel-Nr.: 325202

Einrichtungen

  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]

Identifikationsnummern