Ionized physical vapor deposited Al2O3 films: Does subplantation favor formation of α-Al2O3?

Sarakinos, Kostas; Music, Denis; Nahif, Farwah; Jiang, Kaiyun; Braun, Alexander; Zilkens, Conrad; Schneider, Jochen M.

Weinheim : Wiley-VCH (2010)
Fachzeitschriftenartikel

In: Physica status solidi / Rapid research letters
Band: 4
Heft: 7
Seite(n)/Artikel-Nr.: 154-156

Einrichtungen

  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]

Identifikationsnummern