On the phase formation of titanium oxide films grown by reactive high power pulsed magnetron sputtering

Alami, Jones; Sarakinos, Kostas; Uslu, Fahri; Klever, Christian; Dukwen, Julia; Wuttig, Matthias

Bristol : IOP Publ. (2009)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of physics / D, Applied physics
Band: 42
Heft: 11
Seite(n)/Artikel-Nr.: 115204

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]

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