Pressure dependence of the Al ion energy distribution functions during filtered cathodic arc thin film growth in an Ar, O2 ambient

Atiser, Adil; Mráz, Stanislav; Schneider, Jochen M.

Bristol : IOP Publ. (2009)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of physics / D, Applied physics
Band: 42
Heft: 1
Seite(n)/Artikel-Nr.: 015202

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]

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