Influence of plasma source and sputtering conditions on the growth properties of alumina

Cremer, Rainer; Reichert, K.; Neuschütz, Dieter; Erkens, G.; Leyendecker, T.

Hannover : IFW, Inst. of Production Engineering and Machine Tools (2001)
Beitrag zu einem Tagungsband

In: Conference proceedings / 2nd International Conference THE Coatings in Manufacturing Engineering, Hannover, Germany, May 9 - 10, 2001 : Thessaloniki - Hannover - Erlangen / the conference is sponsored by the CIRP, International Institution for Production Engineering Research. [H. K. Tönshoff ...]
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Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]

Identifikationsnummern