Improved chemical vapor deposition of diamond layers on cemented carbides by formation of tungsten-cobalt-boron phases in the interface region

Cremer, Rainer; Müller, J.; Neuschütz, Dieter; Leyendecker, T.; Lemmer, O.; Frank, M.; Gussone, J.

Pennington, NJ : Electrochemical Society (2001)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband

In: Fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase deposition II and process control, diagnostics, and modeling in semiconductor manufacturing IV ; proceedings of the international symposia / High Temperature Materials and Dielectric Science and Technology Divisions. Ed.: M. T. Swihart ...
Seite(n)/Artikel-Nr.: 365-372

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]

Identifikationsnummern