Deposition kinetics of TiB~2 from TiCI~4-BCI~3-H~2-HCI gas mixtures by thermal CVD in a hot-wall reactor

Yu, C.-H.; Zimmermann, E.; Neuschütz, D.

Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek (2000)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband

In: High Temperature Materials Chemistry ; Proceedings of the 10. International IUPAC Conference held from 10.-14.4.2000 at the Forschungszentrum Jülich, Germany / Forschungszentrum Jülich GmbH, Institut für Werkstoffe und Verfahren der Energietechnik / Hilpert, K. [u.a.] Hrsg
Seite(n)/Artikel-Nr.: Bd. 2, S. 641-644

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]

Identifikationsnummern