Effect of Growth Temperature and Atmosphere Exposure Time on Impurity Incorporation in Sputtered Mg, Al, and Ca Thin Films

Aliramaji, Shamsa (Corresponding author); Keuter, Philipp; Neuß, Deborah; Hans, Marcus; Primetzhofer, Daniel; Depla, Diederik; Schneider, Jochen M.

Basel : MDPI (2023)
Buchbeitrag, Fachzeitschriftenartikel

In: Materials
Band: 16
Heft: 1
Seite(n)/Artikel-Nr.: 414