Angular resolved mass-energy analysis of species emitted from a dc magnetron sputtered NiW-target

Rausch, Martin (Corresponding author); Mráz, Stanislav; Kreiml, Patrice; Cordill, Megan J.; Schneider, Jochen M.; Winkler, Jörg; Mitterer, Christian

New York, NY : American Institute of Physics (2020)
Buchbeitrag, Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of vacuum science & technology : JVST / A
Band: 38
Heft: 2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 023401

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