Angle-resolved evolution of the composition of Cr–Al–C thin films deposited by sputtering of a compound target

Mráz, Stanislav; Emmerlich, Jens; Weyand, Felix; Schneider, Jochen M.

Bristol : IOP Publ. [u.a.] (2013)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of physics / D, Applied physics
Band: 46
Heft: 13
Seite(n)/Artikel-Nr.: 135501