Influence of the plasma chemistry on the composition of ZrOx and NbOx thin films deposited by reactive magnetron sputtering

Mráz, Stanislav; Schneider, Jochen M.

New York, NY : Plenum Publ. Corp. (2006)
Fachzeitschriftenartikel

In: Plasma chemistry and plasma processing
Band: 26
Heft: 2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 197-203

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